音圈电机是一种特殊形式的直接驱动电机，能将电能直接转化成直线运动机械能而不需要任何中间转换机构的传动装置。其原理是:在均匀气隙磁场中放 入一圆筒状绕组，绕组通电产生电磁力带动负载作直线往复运动，改变电流的强弱和极性，就可改变电磁力的大小和方向。音圈电机是一种反应频率较快的直驱式电机，分圆柱音圈电机，摆角音圈电机，矩型音圈电机。音圈电机具有零磁滞、零磁槽效应，高响应，高精度，高加速，高速度，力特性好，控制方便，体积小和分辨率较小等优点，在国外，音圈电机被认为是一种近乎较好的伺服驱动装置。根据驱动、反馈、控制器和控制算法等配置高低，音圈电机一般可以达到500-1000Hz的运动频率，甚至更高。图１

     压电陶瓷电动机是基于压电现象产生声驻波的原理而开发的，应用于运动控制领域的精密电动机，也称声波电动机。与直流电动机相似，具有高分辨率和压电驱动装置的动态特性。电动机工作时没有内在磁场和运动部件，结构紧凑，行程不受限制，能够达到直线和旋转电动机所不能匹敌的精度。压电陶瓷电动机可用在从普通环境到高真空环境的半导体设备、平面平台设备、光学纤维制动态元件制造、存储介质制造和测试设备、生物医药和制药、度量衡和高精度的微型数控等设备中。图２






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