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音圈电机在光刻机掩模台系统中的应用

文章出处:同茂电子人气: 发布时间:2020-6-27 9:25:35
音圈电机在光刻机掩模台系统中的应用。作为芯片制造的核心设备之一,光刻机对芯片生产的工艺有着决定性影响。

据悉,光刻机按照用途可分为生产芯片的光刻机、封装芯片的光刻机以及用于LED制造领域的投影光刻机。其中,生产芯片的High End光刻机是中国在半导体设备制造上的大短板。

生产芯片的光刻机又根据工艺分为High End光刻机和Medium and low end光刻机,虽然在High End光刻机上被荷兰的阿斯麦所垄断,但在Medium and low end光刻机方面中国的技术已经较为成熟,且不断在向High End光刻机突破。

拿上海微电子装备股份有限公司来说,近几年,其先后推出了IC前道制造光刻机SSX600系列光刻机、IC后道先进封装SSB500系列光刻机、LED制造SSB300系列光刻机、TFT曝光SSB200系列光刻机。

划重点,上海微电子装备股份有限公司是咱同茂的合作客户,先后多次从我司购入高性能音圈电机用于产品中,那
音圈电机在光刻机中具体作用是什么?音圈电机主要用于光刻机掩模台系统,在该系统中音圈电机运动工况分为扫描运动和定位运动,其中扫描运动主要完成硅片曝光处理,该运动对定位精度以及速度稳定性有非常高的要求,在稳定基础上追求时间的优化。音圈电机系统具有较低的阻尼比,是光刻机很重要的要件。

昆山同茂电子有限公司深耕音圈电机领域十余年,始终以客户诉求为设计导向,采用欧美技术标准和加工工艺,专业为客户定制性能合理的音圈电机。
音圈电机
 
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