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音圈电机技术提升光刻工艺水平

文章出处:同茂电子人气: 发布时间:2019-5-13 9:13:06

音圈电机技术提升光刻工艺水平。光刻工艺,顾名思义就是一种用光刻印的技术,它广泛应用于半导体制造行业以及许多其他纳米技术应用中,下面小编为大家介绍一下光刻工艺的核心技术。

据小编音圈电机所知,光掩模运动平台是光刻设备的核心技术之一,这些先进的运动平台使用包括音圈电机 (VCM) 在内的多种不同类型的电机执行粗略 (>100 mm) 运动控制和更精细 (<2 mm) 的运动控制。运动命令模式通常是加速匀速减速类型。典型的掩模平台通常具有六个自由度,要用到多根需要高精度位置反馈的驱动轴。高分辨率、高速度和低延迟的位置编码器是动态平台定位的关键,因为它们可以尽可能增加带宽并降低不稳定性。在这些应用中,编码器的选择至关重要。编码器的周期误差低,则对伺服回路的输入负载干扰较小,从而实现更精细的速度控制。使用精心设计的安装工具妥善安装,更可实现编码器的整体性能。

同茂电机深耕音圈电机领域多年,拥有行业内先进的技术在,购买音圈电机的时候,要注意选购渠道,要通过正规厂家来采购。昆山同茂电子有限公司所销售的音圈电机,产品质量有保证,同时还可以为客户提供使用操作指导或安装视频,让人们在安装使用的时候更加的便捷。

音圈电机

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