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光刻机调焦系统音圈马达下的好“芯”

文章出处:同茂电子人气: 发布时间:2019-2-28 14:01:52

光刻机调焦系统音圈马达下的好光刻机, 意思是用光来制作一个图形(工艺)。它是芯片制造中的重要设备,芯片要经过研发人员长时间的合理设计,做出设计图。然后在制造芯片过程中,这一步就是光刻机的作用,通过光刻机把设计好的芯片图样打印到指甲盖上大小的晶片上,相当于把50多亿个晶体管画在指甲盖大小的晶片上。

音圈马达小编表示,50多亿个晶体管画在指甲盖大小的晶片上,可以想象出要多精细和准确了。所以光刻机光头调焦控制就显得特别重要,光头调焦控制是为了在磁盘表面得到屡可能小的光点,一方面可以提高记录密度,另一方面也可以集中光束的能量,缩短刻蚀时加热的时间,提高刻写速度。采用音圈马达作为光刻机调焦系统,其具有高加速,高速度,力特性好,准确度高、控制方便等优点,使其可以对准和稳定光束。

音圈马达是一种反应频率快的直驱式电机,它的原理是带电线圈在磁场中产生的力的作用。音圈电机具有零磁滞、零磁槽效应,高响应,高精度,高加速,高速度,力特性好,控制方便,体积小和分辨率小等优点。

昆山同茂自主研发生产的音圈马达重复定位精度较大可以达到0.1µm, 特别适合短行程、快响应、高精度的闭环伺服控制。公司产品广泛应用于医疗、半导体、航空、汽车等领域,包括阀门制动器,Z轴抓物和短距离的准确的位置控制,小型精密替换测量仪、振动平台以及主动式减振系统等众多方面。请多多关注我们的音圈马达

 

音圈马达

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