基于音圈模组激光束的偏摆台
基于音圈模组激光束的偏摆台。有公司推出物镜扫描台,该偏摆台采用压电陶瓷驱动,以柔性铰链为导向使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。采用硅高精度位移传感器,与电容位移传感器相比硅传感器可以直接探测角度的变化,因此拥有较高的反馈精度使偏摆台拥有较高的线性度和超低的底噪。被广泛的应用于粒子跟踪、光镊、光束稳定、扫描显微镜等领域。
另外一款二维的偏摆台,每个轴可提供5mrad的偏转角。其中镜面安装面为1英寸,采用硅传感器闭环控制,精度可达到5纳弧度,底噪低至1纳弧度。该款产品是一款高速偏摆台,配合高速控制器使用时,扫描速度可达到500Hz,响应时间可达到2ms。
但是,以上的偏摆台是基于音圈模组激光束指向稳定系统,使用位置敏感探测器实时探测光束角度和位置漂移量,自动反馈控制快速反射镜(基于压电和马达)补偿光束漂移,保持激光实时角度和位置稳定,大幅提高激光指向精度,有较高的反馈精度,并提供自动校准光路和功率监控功能。
昆山同茂音圈模组被广泛用在精密定位系统和许多不同形式的高加速、高频激励、快速和高精度定位运动系统中,主要应用的领域:半导体、光学电子、汽车生产检测、生物生化检测取样、食品制药、组装包装、自动化测试、高速扫描,数码影像系统,效率高的焊接、贴片、组装、测试与检测设备,光学元件的搬运与检测,各种直线或旋转应用,精密而高速运动设备,特别是需要高速的周期往复运动的应用。
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